Рязани пластини за микроелектрониката
| Диаметър mm (inch) | 76.2 (3”) | 100 (4”) | 125 (5”) | 150 (6”) | |
| Дебелина на пластината(μm) | стандартно | >350 | >400 | >440 | >500 |
| минимална | 300 | 350 | 380 | 420 | |
| Точност по дебелина(μm) | стандартна | ±15 | ±20 | ±20 | ±20 |
| Отклонение в дебелината TTV (μm) | максимум | 10 | 15 | 20 | 25 |
| типично | <7 | <10 | <10 | <12 | |
| Изкривяване на пластината WARP (μm) | максимално | 30 | 35 | 40 | 45 |
| типично | <15 | <15 | <20 | <25 |