Тип на проводимост | Р ТИП (БОР) |
Ориентация | 100 ±2° |
Съдържание на въглерод | Под 5х1016 at.cm3 |
Съдържание на кислород | Под 1х1018 at.cm3 |
Съпротивление | 0,5 ÷ 3 Ω/см |
Форма | Пълен квадрат 100х100 от Ф 135 мм Псевдо квадрат 100х100 от Ф125 мм Псевдо квадрат 125х125 от Ф150 мм |
Тип на проводимост | Р ТИП (БОР) |
Ориентация | 100 и 111 ±2° |
Съдържание на въглерод | Под 2.5х1016 at.cm3 |
Съдържание на кислород | Под 1х1018 at.cm3 |
Съпротивление | 0,05 ÷ 45 ± 20% Ω/см |
Форма | Цилиндър шлайфан |
Диаметър | 76,2 мм, 100 мм, 125 мм, 150 мм |
Диаметър mm (inch) | 76.2 (3”) | 100 (4”) | 125 (5”) | 150 (6”) | |
Дебелина на пластината(μm) | стандартно | >350 | >400 | >440 | >500 |
минимална | 300 | 350 | 380 | 420 | |
Точност по дебелина(μm) | стандартна | ±15 | ±20 | ±20 | ±20 |
Отклонение в дебелината TTV (μm) | максимум | 10 | 15 | 20 | 25 |
типично | <7 | <10 | <10 | <12 | |
Изкривяване на пластината WARP (μm) | максимално | 30 | 35 | 40 | 45 |
типично | <15 | <15 | <20 | <25 |