Рязани пластини за микроелектрониката

Диаметър mm (inch)   76.2 (3”) 100 (4”) 125 (5”) 150 (6”)
Дебелина на пластината(μm) стандартно >350 >400 >440 >500
минимална 300 350 380 420
Точност по дебелина(μm) стандартна ±15 ±20 ±20 ±20
Отклонение в дебелината TTV (μm) максимум 10 15 20 25
типично <7 <10 <10 <12
Изкривяване на пластината WARP (μm) максимално 30 35 40 45
типично <15 <15 <20 <25